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晶圆包装机的使用和维护(中)
晶圆包装机在闲置过程中,自然力的作用(如油封油质中的腐蚀性介质的侵蚀,空气中的水分和有害气体的侵蚀等等)是产生磨损的主要原因,如果保管不善,缺乏必要的维护保养措施,就会使设备受腐蚀,随着时间的延长,腐蚀面和深度不断扩大、加深,造成精度和工作能力自然丧失,甚zhi因锈蚀严重而报废。
在一般情况下,晶圆包装机在使用过程中,零、部件的磨损都有一定规律,大致可分为三个阶段:
第.一阶段是初期磨损阶段(也称磨合磨损阶段)。在这个阶段,晶圆包装机各零、部件表面的宏观几何形状和微观几何形状(粗糙度)都要发生明.显的变化。这种现象的产生,原因是零件在加工、制造过程中,无论经何种精密加工,其表面仍有一定粗糙度。当互相配合作相对运动时,如粗糙表面由于摩擦而磨损。此时的磨损速度很快,磨损量和时间决定于零件加工的粗糙程度。这种现象一般发生在设备制造、修理的总装调试时和投入使用期的调试和初期使用阶段。
当作相对运动的零、部件的表面经磨合磨损以后,磨损进入了第二阶段,即正常磨损阶段。在这一阶段内,如果零部件的工作条件不变或变化很小时,磨损量基本随时间匀速增加。也就是说,在正常情况下,零、部件的磨损速度非.常缓慢。当磨损zhi一定程度,零件不能继续工作时,这一阶段的时间就是这个零件的使用寿数。