晶圆包装机的使用和维护（中）

                                晶圆包装机的使用和维护（中）

     晶圆包装机在闲置过程中，自然力的作用（如油封油质中的腐蚀性介质的侵蚀，空气中的水分和有害气体的侵蚀等等）是产生磨损的主要原因，如果保管不善，缺乏必要的维护保养措施，就会使设备受腐蚀，随着时间的延长，腐蚀面和深度不断扩大、加深，造成精度和工作能力自然丧失，甚zhi因锈蚀严重而报废。

在一般情况下，晶圆包装机在使用过程中，零、部件的磨损都有一定规律，大致可分为三个阶段：

第.一阶段是初期磨损阶段（也称磨合磨损阶段）。在这个阶段，晶圆包装机各零、部件表面的宏观几何形状和微观几何形状（粗糙度）都要发生明.显的变化。这种现象的产生，原因是零件在加工、制造过程中，无论经何种精密加工，其表面仍有一定粗糙度。当互相配合作相对运动时，如粗糙表面由于摩擦而磨损。此时的磨损速度很快，磨损量和时间决定于零件加工的粗糙程度。这种现象一般发生在设备制造、修理的总装调试时和投入使用期的调试和初期使用阶段。

当作相对运动的零、部件的表面经磨合磨损以后，磨损进入了第二阶段，即正常磨损阶段。在这一阶段内，如果零部件的工作条件不变或变化很小时，磨损量基本随时间匀速增加。也就是说，在正常情况下，零、部件的磨损速度非.常缓慢。当磨损zhi一定程度，零件不能继续工作时，这一阶段的时间就是这个零件的使用寿数。