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晶圆包装机的使用和维护(上)
设备在使用(或闲置)过程中会产生磨损。磨损有两种形式:一种是有形磨损,亦称物质磨损或物质损耗;一种是无形磨损,也称精shen磨损或经济磨损。无论有形磨损还是无形磨损,其结果都会造成经济损失。为了减少设备磨损和在设备磨损后及时进行补偿,就必须首先弄清产生磨损的原因和磨损的规律,以便采取相应的技术、组织、经济措施。
一、晶圆包装机产生磨损的原因及其规律:
设备无论在使用或是在闲置过程中,都会产生磨损。磨损,即设备在实物形态上的磨损。设备在运转使用中,作相互运动的零、部件的表面,在力的作用下,因摩擦而产生各种复杂的变化,使表面磨损、剥落和形态改变,以及由于物理、化学的原因引起零、部件疲劳、腐蚀和老化等等。设备使用过程中的有形磨损,既有正常磨损,又有因保管、使用不当和因受自然力的腐蚀(工作环境恶劣所致)而引起的非正常磨损。这种磨损的结果,通常表现为:
(1)晶圆包装机使组成设备的各零、部件的原始尺寸改变。当磨损到一定程度时,甚zhi会改变零、部件的几何形状。
(2)晶圆包装机使零、部件之间的相互配合性质改变,导致传动松动,精度和工作性能下降。
(3)晶圆包装机的零件损坏,甚zhi因个别零件的损坏而引起与之相关联的其他零件的损坏,导致整个部件损坏,造成严重事故。