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安·全、有效·率地生产的前提是规范、合理地安装晶圆包装机设备,并根据生产要求调试出合适的参数。
晶圆包装机设备安装到位。在机械设备安装过程中,应使用起重设备将机械设备吊起后准确放在规定的位置上。在该过程中,为了保障安装质量,要求起吊时要有专人指挥,将设备放到规定位置时动作要轻缓,角度要准确。为了进一步减少设备的损坏,还可以使用晶圆包装机的包装纸或者包装袋保护设备。
做好机械设备找正工作。工作人员在机械设备安装到位后,要做好设备找正工作。在安装过程中,虽然笔者使用了吊车将设备放置在允许的范围内,但位置并不准确。故而,工作人员要做好设备找正工作。一般·来说,找正方法主要有两种,即边界尺寸找正和水平度找正。其中,水平度找正主要是保证机械设备能在水平面上安装并使用,保证设备使用环境。边界尺寸找正主要是指在指定的范围或位置内安装机械设备。
在保证安装位置之后,要用螺栓等紧固件将机械设备紧紧固定在混凝土基础上,并将设备的各个部件进行固定,保证机械设备满足初次调整的条件。在完成以上工作之后,工作人员要对机械设备进行初次调整,具体内容为:机械设备的标高调整、机械设备的水平度调整等。